- 샘플에 전자빔을 주사하면 원자 내 전자가 에너지를 흡수하여 들뜬 상태가 됩니다.
들뜬 전자가 안정화 되면서 특정 X선을 방출하게 되는데, 이때 방출되는 X선은 물질마다 고유한 에너지 값을 가집니다.
따라서 디텍터를 이용하여 X선을 수집하고, 수집된 X선을 세기 별로 분류하여 샘플에 대한 정성분석을 할 수 있습니다.

• 1. EDS 장비는 SEM(주사전자현미경)과 동시에 사용하는 장비이기 때문에 샘플의 부위별로 성분분석이 가능합니다.  
• 또한 비교적 적은 양의 샘플로도 성분 분석이 가능하며, 분석 시간이 빠르다는 장점이 있습니다.  
• 2. EDS 분석은 에너지원으로 전자빔을 사용하기 때문에 샘플이 자성을 가지고 있을 경우 분석이 불가능 합니다.  
• 3. EDS는 SEM과 같이 사용하는 장비이기 때문에 샘플의 고정 및 코팅(전기전도성이 작은 물질)과 같은 전처리 과졍이 필요합니다.  
• 4. SEM이 진공 장비이기 떄문에 액체 시료는 분석할 수 없습니다.  
• 5. EDS는 원소 B부터 분석이 가능하지만, 유기성분에 대한 신뢰도는 낮습니다.  

Resolution	SE image resolution : 1.0nm at 15kV.
	1.4nm at 1kV., 2.0nm at 15kV.
Magnifications	LM Mode: x20 to x2,000
	HM Mode: x100 to x80,000
Accelerating Voltage	0.5 to 30kV
Landing Voltage	0.1 to 2.0kV
Specimen Stage	Stage Movement X - 0 to 110mm
Max.Resolution	0.005㎛(5nm)