| 제품 | 제품소개 | 바로가기 |
|---|---|---|
|
약액농도 Monitor (CS-100 Series)
|
목록보기 |
CS-100 Series
약액농도 Monitor
제품 용도
반도체 제조공정중 세정, 에칭 등의 공정에 사용되는 각종 용액의 "고정밀농도측정" 모니터
제품 특징
- - 고속응답성, Compact한 설계에 각 성분 농도를 Real-Time으로 측정하여 알람으로 액교환이나 자동 Adding하는 타이밍을 출력
- - 짧은 측정주기에의해 농도변화에 대해서도 충실하게 대응
- - Real-Time의 농도 추종성
- - 약 3초의 측정주기로 300mm process 의 농도관리
- - Miulti- Bath는 물론 One-Bath 방식의 세정장치의 세밀한 농도관리
- -Full Auto 측정 간편관리
- -측정은 Full Auto 로 측정개시후의 제어는 일절 불필요
- -만전의 기포대책으로 연속측정
- - 탈포기능을 내장해 Flow Cell직전에 기포를 분리
- -약액을 흘린 상태에서 연속 측정
- -DC24V 채용의 높은 안정성
- -전원은 저전압 DC24V를 채용해 약 45W와 감전에 대한 안전성과 전력 절약을 향상
- -경량 Compact 설계
- -바닥면적이 종래 대비 2/3의 Compact 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌
- - 세정장치에 설치하는 것이 용이하고 경량이므로 세정장치안에 설치하는 것도 가능
